CCS光源「LDF-NB 系列」,降低散斑噪聲提高發(fā)光面均勻度
CCS于2019年創(chuàng)立的新品牌「CCS-LT」產品第3彈--干涉條紋檢測用光源「LDF-NB」系列能將涂層涂布的有無及不均勻等可視化的激光檢測用CCS光源「LDF-NB 系列」上市,通過在對象物表面產生干涉條紋(※1)來觀察,最適合置換鹵素燈和熒光燈。
在制造薄膜、半導體、玻璃等的涂布工序中,為了檢測涂布的不均勻和有無,使用了三波長熒光燈和鹵素燈等光源。將這些光源照射到涂層面上時,薄膜各層發(fā)生的光的反射會產生干涉條紋,可通過次方法觀察其狀態(tài)。但是,這些熒光燈和鹵素燈從能源效率等觀點出發(fā),制造廠家相繼停止生產,尋求替代光源的市場需求正在提高。為了滿足這樣的要求,CCS將發(fā)售適用于干涉條紋產生的光譜寬度,使用激光二極管的檢測用光源LDF-NB系列。
激光二極管發(fā)出的激光波長適合產生干涉條紋,但如果將激光二極管發(fā)出的光直接用于檢測產生的斑點噪聲(※2 )可能會影響檢測。LDF-NB系列通過獨特的光學設計降低了散斑噪聲、提高了發(fā)光面的均勻度(已申請專利)。
※1干涉條紋:通過多個光的重疊、相互增強或減弱的現(xiàn)象稱為干涉、由該干涉產生的條紋稱為干涉條紋
※2:散斑噪聲(speckle noise)當激光照射到漫射面時、漫射光相互干涉、產生圖像的閃爍
該系列產品有條型形狀的發(fā)光面尺寸 200mm×20mm,激光的波長有 658nm(紅)、520nm(綠)、450nm(藍)除此之外還可以混合 658nm、520nm、450nm 的 RGB 的 4 種。另外根據(jù)用途不同、尺寸不同、還可進行平面光類形、同軸光類形等的特別定制。
應用案例
薄膜和玻璃等的涂層有無、不均勻檢測;玻璃貼合的不均勻檢測;晶圓上涂層的不均勻檢測。
以下是2個成像實例:
玻璃貼合的不均勻檢測
使用普通的白色LED光源,沒有條紋干涉的效果,不均勻區(qū)域不能可視化
使用干涉條紋檢測用光源RGB型,使貼合不均勻可視化
薄膜涂層的有無檢測
干涉條紋檢測用光源紅色型,無涂層時, 干涉條紋不可見

干涉條紋檢測用光源紅色型,有涂層時, 可見干涉條紋
