適用于半導(dǎo)體檢測(cè)的AVT相機(jī)
科技不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)相關(guān)的要求也隨之水漲船高。深入納米級(jí)的日益小型化結(jié)構(gòu)以及對(duì)更高產(chǎn)量和質(zhì)量的需求，進(jìn)而導(dǎo)致我們?cè)诜直媛省屎托聶z測(cè)方法方面衍生了更多的要求。
適用于半導(dǎo)體檢測(cè)的相機(jī)
創(chuàng)新晶圓檢測(cè)系統(tǒng)能夠在整個(gè)制造流程檢測(cè)裸片晶圓、外延晶圓、圖案晶圓和切割晶圓的表面、材料和工藝缺陷。
選擇半導(dǎo)體檢測(cè)相機(jī)時(shí)，需要考慮以下相關(guān)因素：
高空間分辨率成像，確保可檢測(cè)出極其細(xì)微的缺陷，確保晶圓層超高準(zhǔn)確度水平對(duì)齊
支持不同類型傳感器（分辨率和像素大小方面）、傳感器冷卻選項(xiàng)以及相機(jī)接口，打造靈活、可擴(kuò)展的解決方案
高幀率運(yùn)行的高水平傳感器，提高生產(chǎn)吞吐量
主動(dòng)冷卻傳感器(TEC)，確保可重現(xiàn)的成像結(jié)果
即插即用體驗(yàn)，通過(guò)多功能SDK和驅(qū)動(dòng)程序搭建圖像處理系統(tǒng)
這類系統(tǒng)采用自動(dòng)光學(xué)檢測(cè) (AOI)方法，包括對(duì)MEMS、高級(jí)封裝、RDL、凸塊等進(jìn)行高準(zhǔn)確性和可重復(fù)性2D和3D測(cè)量，確保并維持一定的產(chǎn)量。
半導(dǎo)體晶圓制造流程通常需要500多個(gè)步驟。因此，越早檢測(cè)到流程存在的缺陷，越能減少后續(xù)步驟浪費(fèi)的人工和資金成本。
短波紅外在半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域大放異彩
搭載InGaAs傳感器的短波紅外相機(jī)通常在900 nm至1,700 nm的短波紅外光譜范圍內(nèi)運(yùn)行，并可透過(guò)半導(dǎo)體材料（例如硅(Si)）實(shí)現(xiàn)大約1,150 nm波長(zhǎng)的光譜成像。因此，短波紅外相機(jī)成為了檢驗(yàn)過(guò)程必不可少的設(shè)備。硅片透光成像是一種非破壞性檢測(cè)方法，為生產(chǎn)流程提供了諸多益處。現(xiàn)如今，半導(dǎo)體行業(yè)紛紛將短波紅外相機(jī)引入測(cè)試、檢驗(yàn)和質(zhì)量控制系統(tǒng)。
Allied Vision 提供市面上品類超齊全的短波紅外相機(jī)產(chǎn)品線。從配有熱電冷卻(TEC)功能的高端解決方案，到用于開發(fā) SWaP+C OEM 系統(tǒng)的無(wú)TEC裸板相機(jī)模塊，一應(yīng)俱全。
3種分辨率（QVGA、VGA或SXGA）和5種接口（GigE、5GigE、USB3、CSI-2或Camera Link）供選，方便您根據(jù)自身需求設(shè)計(jì)半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)。
SWIR相機(jī)產(chǎn)品線
Allied Vision 種類豐富的短波紅外型號(hào)（Goldeye和Alvium SWIR），可根據(jù)客戶需求定制各種解決方案，融合不同附加功能或特殊部件。
作為AVT相機(jī)的代理商，我們不僅為您提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，更致力于為您打造完善的服務(wù)體系。我們擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，能夠根據(jù)您的實(shí)際生產(chǎn)需求，提供個(gè)性化的視覺檢測(cè)解決方案，從相機(jī)選型、系統(tǒng)集成到安裝調(diào)試、人員培訓(xùn)，全程為您保駕護(hù)航。同時(shí)，我們建立了快速響應(yīng)的售后服務(wù)機(jī)制，確保在設(shè)備出現(xiàn)問題時(shí)，第一時(shí)間為您解決，最大限度減少對(duì)生產(chǎn)的影響。
